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USHIO牛尾簽署全球技術(shù)“半導(dǎo)體光陰極電子束”的代理協(xié)議

更新時(shí)間:2023-11-15   點(diǎn)擊次數(shù):612次

投資名古屋大學(xué)創(chuàng)業(yè)公司Photo electron Soul,加強(qiáng)半導(dǎo)體檢測(cè)業(yè)務(wù)

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Ushio Inc.(總部:東京,總裁兼執(zhí)行官:Koji Naito,以下簡(jiǎn)稱“Ushio")特此宣布,我們已投資擁有下一代電子束生成技術(shù)的Photo electron Soul Inc.(執(zhí)行官:鈴木孝之,以下簡(jiǎn)稱“PeS"),并簽署了安裝在電子束半導(dǎo)體晶圓圖案檢測(cè)設(shè)備中的半導(dǎo)體光電陰極單電子束生成系統(tǒng)(該系統(tǒng))的代理協(xié)議。

PeS是名古屋大學(xué)成立于2015年的初創(chuàng)公司,是世界上一家成功開(kāi)發(fā)創(chuàng)新工業(yè)半導(dǎo)體光電陰極電子束系統(tǒng)的公司。采用半導(dǎo)體光電陰極技術(shù)的電子束*1PeS旗下作為明亮光源或加工工具備受關(guān)注,有望用于半導(dǎo)體檢測(cè)、電子顯微鏡和3D打印等應(yīng)用。

檢測(cè)時(shí)間長(zhǎng)導(dǎo)致產(chǎn)量低,檢測(cè)精度低導(dǎo)致良率低,這些都是挑戰(zhàn),特別是在半導(dǎo)體制造工藝的檢測(cè)中,近年來(lái)小型化和多層化的進(jìn)步令人矚目。為了應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn),Ushio專注于PeS擁有的這個(gè)系統(tǒng),這一次,我們投資并獲得了銷售權(quán)。因此,從今年1月起,我們利用牛尾的半導(dǎo)體檢查設(shè)備光源全球銷售渠道和各種半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球維護(hù)系統(tǒng),開(kāi)始針對(duì)半導(dǎo)體制造檢查設(shè)備制造商和半導(dǎo)體設(shè)備制造商的銷售活動(dòng)。

Ushio將繼續(xù)通過(guò)我們的光技術(shù),提供克服工業(yè)流程技術(shù)創(chuàng)新瓶頸的光解決方案,包括推進(jìn)半導(dǎo)體小型化,為創(chuàng)造一個(gè)方便舒適的社會(huì)做出貢獻(xiàn)。

*<> 電子束生成技術(shù)之一,通過(guò)照射材料上的光來(lái)利用光能提取電子束。

■半導(dǎo)體光電陰極電子束(圖)

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通過(guò)照射激光在半導(dǎo)體光電陰極上產(chǎn)生電子束
■PeS電子束的主要特點(diǎn) ?亮度是傳統(tǒng)熱場(chǎng)發(fā)射電子束的十倍以上

?數(shù)字選擇性電子束TM系列(DSeB) 函數(shù)*2
?多可變形電子束
?即使在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中也能保持高正常運(yùn)行時(shí)間和出色的輸出穩(wěn)定性 

*2:快速激光開(kāi)/關(guān)功能,可在特定區(qū)域在電子束照射和非照射之間切換。

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